2026年度 NEDO ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）／大面積かつ高精細露光装置開発【GX】

概要

ポスト5Gに対応した先端半導体を国内で設計・製造できる技術確保のための補助事業。対象テーマは「先端半導体製造装置開発」のうち「大面積かつ高精細露光装置開発【GX】」で、パネルサイズおよび大型インターポーザが一括露光可能で0.5umのライン＆スペースの露光が可能な露光装置開発を対象とする。提案1件あたりの初回ステージゲート審査までの提案時補助費は原則30億円以下、NEDO負担率（補助率）1/2。事業期間は研究開発開始時点から原則5年（60ヶ月）以内（初回交付決定は36ヶ月以内）。公募説明会は2026年3月19日（木）11:00〜12:00 Microsoft Teamsで開催済。GXリーグ参画企業相当のGX取組が求められる。問い合わせは半導体・情報インフラ部 ポスト5G室までpost5G_koubo7@ml.nedo.go.jpで受付。

応募要件

単独または複数で補助を希望する企業・大学等。研究機関等による単独提案は不可。国立研究開発法人単独提案不可。GXリーグ参画企業と同様のGX取組実施が要件。知財権の取扱いを適切に交渉・管理する能力を有すること。

対象となる研究

パネルサイズおよび大型インターポーザが一括露光可能で、0.5μmのライン＆スペースの露光が可能な露光装置の開発。ポスト5G先端半導体の国内設計・製造基盤を強化し、GX（脱炭素）に資する技術開発を含む。

採択されやすい研究像

①研究開発計画記載内容の実用化開発であり、NEDO意図と合致する提案 ②事業終了後直ちに実用化を目指す開発・投資計画と実用化能力を示せる提案 ③GXリーグ参画相当のGX取組（脱炭素効果・定量目標・体制）を具体的に提示できる提案。

過去の採択傾向

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応募方法

申請システム: jGrants

必要書類:

• 別添1：提案書
• 別紙1：体制表
• 別紙2：積算表
• 別添2：主任研究者研究経歴書
• 別添3：申請者情報
• 別添4：ワーク・ライフ・バランス等認定状況
• 別添5：賃金引上表明資料（任意）
• 別添6：情報管理体制確認票
• 別添7：提案概要説明資料（pptx）
• 別添8：GXに係る取組申告書
• チェックリスト

記載項目:

• 研究開発目的
• 研究開発計画
• 実用化計画・投資計画
• 実施体制
• 積算（補助対象費用）
• GX取組（脱炭素効果・定量目標）
• 知財管理・安全保障貿易管理体制

申請手続きガイド

事前準備チェックリスト

申請手順

1. 🏢 事務担当者 🔬 研究者 jGrantsにログイン

   GビズIDを使ってjGrantsにログインします。ログイン後、機関情報が正しく表示されていることを確認してください。
2. 🏢 事務担当者 🔬 研究者 公募の検索・選択

   公募一覧から対象の公募を検索し、「申請する」を選択します。公募名や配分機関名で検索できます。公募が見つからない場合は、受付開始日を確認してください。
3. 🔬 研究者 提案書のアップロード

   公募要領に指定されたフォーマットで作成した提案書をPDFでアップロードします。NEDO公募の場合、提案書の様式（ページ数・フォントサイズ・余白等）が厳密に指定されているため、公募要領を熟読してください。
4. 🔬 研究者 予算情報の入力

   研究開発費の経費内訳（人件費、設備費、旅費、その他経費など）をフォームに入力します。提案書の予算計画と金額が一致しているか必ず確認してください。
5. 🏢 事務担当者 🔬 研究者 申請内容の確認・提出

   すべての入力内容とアップロードファイルを最終確認し、提出します。提出後は「申請済み」ステータスに変わります。受付完了メールが届くことを確認してください。

申請のポイント

• GビズIDプライムの取得には約2週間かかります。初めてjGrantsを利用する場合は、公募開始前に取得を済ませてください。
• NEDO公募では提案書のフォーマット（様式、ページ数上限、フォントサイズ等）が厳格に指定されています。様式不備で不受理とならないよう注意してください。
• 大型プロジェクトの場合、コンソーシアム（共同提案体）の構成が必要です。参画企業との調整に時間がかかるため、早めに体制を固めてください。
• jGrantsのシステムメンテナンスは金曜夜〜土曜に行われることが多いです。締切が月曜の場合は金曜中に提出することを推奨します。